2英寸碳化硅晶片工厂 产品级SiC衬底晶片厂商详细内容
2英寸碳化硅晶片工厂 产品级SiC衬底晶片厂商
碳化硅衬底片主要分为导电型和半绝缘型,导电型SiC碳化硅衬底以n型碳化硅衬底为主,主要用于外延GaN基LED等光电子器件、SiC基电力电子器件等,半绝缘型碳化硅衬底片主要用于外延制造GaN高功率射频器件。高纯半绝缘HPSI与SI半绝缘是有区别的,高纯半绝缘载流子浓度3.5*1013~8*1015/cm3范围,具有较高的电子迁移率;半绝缘是高阻材料,电阻率很高,一般用于微波器件衬底,不导电。
产品类型:4H-SI碳化硅衬底
掺杂:钒
厚度:500um±25um
尺寸:2英寸,3英寸,4英寸,6英寸
晶向:on axis 0°<0001>±0.5°
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